KiMax · 产品单页 / 2026.10
KM-V 立式超临界干燥仪
大尺寸样品与小批量干燥研究
用于大尺寸、多件样品及晶圆的超临界 CO₂ 干燥研究。对于干燥过程中出现收缩、孔结构变化或微结构粘连的样品，可结合材料、当前处理方法和观察目标评估适用性。
设备能力与配置
样品装载：多孔托盘、网面料仓、分层装载和晶圆提篮可按样品形态组合。样品尺寸与载具占用空间需一并核对。
运行与记录：触摸屏支持自动、循环和手动流程及配方管理；按步骤记录运行时间、温度和压力，便于批次对照。
制冷与安全：配置闭环制冷、冷凝分离，以及门盖、超温超压联锁与紧急泄压。
参考规格
| KM-V6 标准仓 | 6.5 英寸 × 32 mm，约 679 mL；圆形样品至 Ø150 mm |
|---|---|
| KM-V8 标准仓 | 8.5 英寸 × 32 mm，约 1162 mL；8 英寸晶圆提篮 |
| 工作压力 | 0-2000 psi（约 13.8 MPa） |
| 工作温度 | -30 至 60 °C |
| 接液材料 | 316L |
| 外形参考 | 约 120 × 60 × 80.3 cm |
适用范围与配置边界
仓体容积不等于可用装样体积。深仓的口径、深度、载具及单批数量按项目确认。进入设备前需完成兼容的前处理，具体介质和程序由厂家结合样品协助判断。 实际效果与原料或样品、前处理和运行条件有关。
400-009-7890www.kimax-cpd.com
资料依据：2026 年 9 月《超临界设备产品手册》，产品手册第 10-11、22 页。最终规格以对应版本规格书、技术协议与铭牌为准；尺寸不含操作及检修空间。本资料不替代操作手册。
应用咨询可使用配套《干燥与萃取通用咨询表》，提供已掌握的信息。干燥与萃取通用咨询表 · 产品单页 V1.0