样品在干燥最后一步塌陷,原因是毛细压力

液体从孔隙中蒸发时,气液界面在孔壁之间弯成弯月面,表面张力沿着界面把孔壁拉向孔内。这股拉力可以用 Young–Laplace 方程估算:

ΔP = 2γ·cosθ / r其中 γ 为液体表面张力,θ 为接触角,r 为孔半径

孔越细,拉力越大。水的表面张力约 72 mN/m,在半径 10 nm 的孔里产生的毛细压力约 14.6 MPa,相当于 140 多个大气压。乙醇的表面张力约为水的三分之一,在同样的孔里仍有约 4.5 MPa。

这股力造成三种常见损伤:气凝胶的孔道塌陷、整体收缩;细胞和组织表面起皱变形;MEMS 悬臂梁被拉向基底、粘在一起。

越过临界点,气液界面随之消失

温度和压力同时高于临界值时,液体与气体的界限消失,物质成为单一的超临界流体,表面张力为零。没有界面,也就没有毛细力。

CO₂压力温度相图,临界点31.1 °C、7.38 MPa及超临界区
CO₂ 相图与临界点

临界点干燥用 CO₂ 作为干燥介质,原因有三:

  • 临界温度 31.1 °C,接近室温,热敏样品不必经受高温。
  • 临界压力 7.38 MPa;相比之下,水的临界点高达 374 °C、22.1 MPa,样品无法承受。
  • 无毒、不燃,卸压后直接挥发,不在样品中留下残余。

在相图上,常规蒸发从液态区穿过气液共存线进入气态区,界面必然出现。临界点干燥先升温升压进入超临界区,再保持温度卸压、回到气态,整条路径绕开这条线。

水先换成乙醇,再换成液态 CO₂

含水样品经中间溶剂与液态CO₂置换后超临界干燥的五步路径
孔隙液的置换顺序

水和 CO₂ 几乎不互溶,直接通入 CO₂ 换不出孔隙里的水,残留的水在卸压时仍会形成弯月面。所以样品先用乙醇或异丙醇(IPA)把水换出,再在设备里用液态 CO₂ 置换这层中间溶剂。

前处理的原则是样品始终浸在液体里。电镜生物样品通常经梯度乙醇逐级脱水到无水乙醇(完整流程见扫描电镜生物样品的临界点干燥制样流程);从脱水到装进样品仓,样品都不露出液面,哪怕短暂风干,表面也已经经历过一次弯月面。

溶剂没换干净,是临界点干燥失败最常见的原因。按 Peng–Robinson 方程估算,40 °C 下孔里只要残留一两个百分点的乙醇,泄压途中 CO₂–乙醇混合物就会进入两相区,重新凝出液滴,毛细力又回来了。

孔里的乙醇只能靠扩散出来,所需时间随样品厚度的平方增加:厚度加倍,时间约为四倍。

乙醇从样品中扩散出来所需时间(一维扩散估算)
样品厚度所需时间
1 mm约 2 min
2 mm约 7 min
5 mm约 46 min
10 mm约 3.1 h

厚样品用循环置换:充液、置换、二充、静置,按设定轮数重复。静置时不排液,等乙醇从样品内部扩散出来,下一轮再把它冲走。难干的样品可以从静置 2400 s、3 轮开始验证。

样品装在样品笼里,始终浸在液体中

装样要同时做到三点:样品始终浸在液体里;流体能穿过样品,带走溶剂;样品自身不被冲走。

  • 块体和组织放在网板上,用组合样品笼分层叠装。
  • 小样品各占多孔承载件的一个孔位,干燥后不会混。
  • 悬浊液装进径向密封样品笼,流体上进下出,颗粒留在笼内。
悬浊液干燥用径向密封样品笼实物照片
径向密封样品笼
组合样品笼与网板实物照片
组合样品笼与网板

样品笼、填充环与承载件按仓体空间配套,特殊样品的样品笼可以按样品设计。

KiMax 极境干燥仪把干燥过程分成九个步骤

在 KiMax 极境干燥仪上,干燥过程固定为九个步骤,每一步由一个配方参数决定何时结束:温度到达、计时结束或压力到达。表中数值是用户手册给出的起始参数。

超临界窗口P > Pc 且 T > Tc冷却冷却温度慢充慢充压力充液快充时间置换置换时间二充二充时间加热加热温度稳定稳定时间泄压泄压压力排气排气压力静置循环流程:二充后静置,再回到充液,重复设定轮数024681001020304050Pc 7.38 MPaTc 31.1 °C压力 P温度 T泄压时温度保持在 Tc 以上压力(MPa)温度(°C)每一步的结束条件:温度到达计时结束压力到达时间
九步程序的压力与温度曲线
九步干燥程序
步骤设备动作结束条件
1 冷却样品仓降温到 10 °C 以下,CO₂ 以液态进入温度到达
2 慢充经微调阀缓慢进液,升压到 500–700 psi,减小对样品的冲击压力到达
3 充液快速充满液态 CO₂计时结束
4 置换液态 CO₂ 持续流过样品,带走中间溶剂计时结束
5 二充加热前再补一次液,让仓内充满液态 CO₂,不少于 90 s计时结束
6 加热升温到 36–40 °C,压力随之升过临界压力温度到达
7 稳定在超临界区保持,不少于 180 s计时结束
8 泄压保持加热,由微调阀匀速放气,降到 500–700 psi压力到达
9 排气排出仓内余气,回到常压后取样压力到达

加热时,设备核对两路信号的先后:压力先升过约 1150–1200 psi,温度再越过约 34–38 °C,CO₂ 从液体一侧绕过临界点。顺序不对,设备报「临界点故障」。

顺序颠倒,通常是加热前仓里的液体不够。液态 CO₂ 不足时,受热会先沿气液共存线蒸干,液面从样品上扫过,样品在这一刻已经受损。二充就是为此在加热前补液。

泄压决定最后的结果

泄压有两条底线:温度保持在临界温度以上,速度足够慢。

CO₂ 膨胀时会降温。卸得太快,仓内温度可能跌破 31.1 °C,CO₂ 重新凝结成液体,界面又回来了。大块凝胶内部的气体来不及排出,还会把样品撑裂;凝胶尺寸越大,允许的泄压速度越低(见气凝胶超临界干燥)。

自研耐低温微调阀实物
自研耐低温微调阀

KiMax 极境干燥仪在泄压期间保持加热,进液和泄压通路由自研耐低温微调阀调节,慢充和泄压都按设定斜率匀速进行。液态 CO₂ 在阀口节流时会析出干冰,微调阀针对这一低温、易堵工况设计,已获实用新型专利授权(ZL 2024 2 2566585.5)。

机械泄压、电子报警与程序互锁三重保护,贯穿高压阶段全程。

视频讲解

常见问题

临界点干燥和超临界CO2干燥是一回事吗?

是同一种方法。电镜制样领域习惯叫临界点干燥(CPD),材料与半导体领域多叫超临界CO2干燥,都是让CO2越过临界点,再以气态离开样品。

含水样品可以直接做临界点干燥吗?

不能。水和CO2几乎不互溶,样品要先在浸润状态下换成乙醇或异丙醇,再在设备里用液态CO2置换。

临界点干燥后样品仍然收缩或塌陷,原因在哪里?

多出在四个环节:前处理或装样时样品露出液面;溶剂没换干净,残留乙醇在泄压时重新凝出液滴;加热前仓内液态CO2不足,CO2先蒸干;泄压过快,温度跌破31.1 °C,CO2重新凝结。

临界点干燥适合哪些样品?

孔隙或微结构会被毛细力破坏的样品:扫描电镜生物样品(组织、细胞、花粉、昆虫),气凝胶、MOF等高孔隙材料,以及MEMS悬臂梁等微结构的释放。