极境 KM-P 桌面式超临界干燥仪
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全自动触控操作 配备明亮的 VGA LCD 电阻式触控屏，实时显示压力（最高可达 2000 psi）、温度及干燥进程 支持出厂默认设置或创建并保存自定义配方，操作直观，减少人为误差 多样化样品处理 长期静置模式支持多种样品类型，设备标配 HF 兼容晶圆夹具及 10mm 方形夹具，可直接用于刻蚀和处理晶圆，减少样品转移操作 高效 CO₂ 管理 独特的可调节腔体插入件设计将腔体内径缩小至 1.25 英寸，降低液态 CO₂（LCO2）消耗 内部 0.5 微米颗粒过滤系统保护样品与阀门，确保 CO₂ 纯净度 创新流体控制 采用非机械搅拌技术，摒弃移动部件，减少维护需求 高精度慢速充液功能，专为最脆弱的样品设计 出厂标配流量计（20 SCFH 适用于 1.25 英寸腔体，60 SCFH 适用于 2.5 英寸及 3.4 英寸腔体），实现精确的排气流控制 快速冷却与废气处理 腔体支持快速绝热冷却（1.25 英寸腔体冷却时间少于 1 分钟），提升效率 可选冷凝消音器静音运行，捕获并消除排气噪音，保护实验室环境 安全与稳定 外部安装的后净化过滤组件便于维护 所有内部表面对 CO₂、丙酮及超纯醇类惰性，确保长期耐用 用户友好设计 腔体照明与可视窗口便于观察状态 设备标配静电消除导液排气管，确保安全操作 丰富配件支持 标配 5 英尺（1.5 米）高压编织不锈钢内衬软管、外部 LCO2 过滤系统（0.5 微米颗粒截留）、备件套装（2 个腔体 O 型密封圈、2 个腔体灯泡、2 个 5A 慢速熔断器）以及丙酮套件，满足日常使用与维护需求 |