样品尺寸和批量决定样品仓

样品与样品仓
样品样品仓型号
电镜生物样品、小块气凝胶与 MOF、芯片桌面仓:2.5″ 约 100 mL,3.4″ 约 186 mLKM-P
块体气凝胶、基板与微球阵列、8″ 晶圆立式仓:KM-V6 为 6.5″ × 32 mm、约 679 mL,KM-V8 为 8.5″ × 32 mm、约 1162 mL;深仓可定制KM-V
8/12″ 晶圆、方形基板、洁净产线13″ 级高压仓,最高 17 LKM-S

样品仓不是越大越好。仓越大,每次置换要冲走的溶剂越多,消耗的液态 CO₂ 越多,置换时间也越长。按最大样品尺寸和单批数量选仓,样品之外的空间用填充环占掉。作为参考,KM-P 每次运行约消耗 0.7–1.2 kg 液态 CO₂。

样品形态决定承载件,溶剂决定密封与流路

  • 块体和组织:网板与组合样品笼,分层叠装,上下透液。
  • 花粉、昆虫等小样品:多孔承载件,每件样品占一个编号孔位,干燥后不会混。
  • 悬浊液与粉体:径向密封样品笼,流体上进下出,颗粒留在笼内。
  • 晶圆与基板:晶圆提篮或按工艺定制的载具,片间留出 CO₂ 流过的间隙。
样品笼与填充环配套件实物照片
样品笼与填充环

中间溶剂同样影响选型。KiMax 极境干燥仪直接使用无水乙醇或异丙醇(IPA);用丙酮脱水的样品,需加装选配的丙酮套件。不同样品的装法见电镜生物样品和气凝胶两篇。

温压范围要覆盖从冷却到泄压的整个程序

CO₂ 临界点为 31.1 °C、7.38 MPa(约 1070 psi)。程序加热到 36–40 °C 时,仓内压力升过约 1150–1200 psi,设备的工作压力要高于这个值并留有余量。

低温端同样重要。液态 CO₂ 要以液体进入样品仓,仓温要低于钢瓶温度,冷却步骤通常把样品仓降到 10 °C 以下再进液。KM-V 配闭环制冷,KM-S 内置制冷模块,工作温度都可低至 −30 °C。

KiMax 极境干燥仪的工作范围
型号工作压力工作温度
KM-P0–1500 psi0–50 °C
KM-V0–2000 psi−30–60 °C
KM-S0–3500 psi−30–80 °C

KM-P 的最高安全压力为 2000 psi、最高安全温度 55 °C;工作范围是日常运行的设定区间。各型号的完整参数见参数对比。

进液和泄压要控得慢、控得稳

慢充和泄压都靠阀门限流。慢充太快,液流冲击样品;泄压太快,仓温可能跌破临界温度,CO₂ 重新凝结,大块凝胶还会被内部压力撑裂,见样品越厚,泄压要越慢。

自研耐低温微调阀实物
自研耐低温微调阀

液态 CO₂ 在阀口节流时会降温、析出干冰,普通针阀容易冻堵,流量随之漂移。KiMax 极境干燥仪的进液和泄压通路用自研耐低温微调阀,针对这一工况设计,已获实用新型专利授权(ZL 2024 2 2566585.5)。泄压期间设备保持加热,慢充和泄压都按设定斜率匀速进行。

程序、配方与运行记录

  • 固定九步程序:冷却、慢充、充液、置换、二充、加热、稳定、泄压、排气,每一步由一个配方参数决定何时结束,见九步干燥程序。
  • 配方:常用样品的参数存成配方;要改参数时先复制原配方,在副本里修改,已验证的工艺不被覆盖。
  • 循环置换:厚样品按设定轮数重复充液、置换、二充、静置。
  • 顺序核对:加热时压力先升过临界压力、温度再越过临界温度,顺序不对,设备报「临界点故障」。
  • 历史记录:每次运行保存配方名称和各步骤的实际时间、温度与压力。
  • 安全:机械泄压、电子报警与程序互锁三重保护,贯穿高压阶段全程。

实验室条件:钢瓶、排气与电源

以 KM-P 为例,安装前要准备:

  • 液态 CO₂ 钢瓶:带延伸到瓶底的虹吸管,纯度不低于 99.8%,净装量 12.5–25 kg。钢瓶与主机之间不装调压器或压力表。瓶内是气液两相,压力由温度决定,余量要看钢瓶秤上的重量。
  • 排气:冷却/泄压与置换/排气两路,接到通风橱、排气管道或室外;置换排出的溶剂先进废液桶,再由废液桶出口接入通风系统。
  • 电源:220 V,独立接地,供电回路额定电流不低于 15 A。
  • 空间:桌面至少 61 × 56 cm,另留钢瓶秤的地面位置。

视频讲解

常见问题

临界点干燥仪的样品仓选多大合适?

按最大样品尺寸和单批数量选,样品之外的空间用填充环占掉。仓越大,每次消耗的液态CO2越多,置换时间也越长。电镜样品和小块材料用2.5–3.4英寸桌面仓,块体和8英寸晶圆用6.5–8.5英寸立式仓。

为什么临界点干燥仪要先冷却样品仓?

液态CO2要以液体进入样品仓,仓温要低于钢瓶温度。冷却步骤通常把样品仓降到10 °C以下,再开始慢充。

临界点干燥仪需要什么样的CO2钢瓶?

带延伸到瓶底的虹吸管、纯度不低于99.8%的液态CO2钢瓶。钢瓶与主机之间不装调压器,余量按钢瓶重量判断。

工作压力1500 psi够做临界点干燥吗?

够。CO2临界压力约1070 psi,程序加热到36–40 °C时,仓内压力升过约1150–1200 psi。KM-P工作范围0–1500 psi,最高安全压力2000 psi。

拿不准选哪一款,可以先测试吗?

可以。寄来样品,我们在现有设备上跑完整流程,按结果推荐型号、样品仓与承载件配置。