极境 KM-S 线上超临界干燥机

线上超临界干燥设备
产品简介
性能参数
领域应用
产品简介

专为晶圆产线开发

将超临界技术引入8寸及12寸晶圆产线

高效自动化上下料，适合晶圆生产的超净环境



高可靠性

采用坚固耐用的结构设计和稳定的运行性能，确保长期使用中的一致性和可靠性，减少维护频率



以先进产线设备标准开发

专为晶圆干燥工序设计的上下料机构，满足先进产线线上设备的自动化需求





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