极境 KM-S 线上超临界干燥机
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全自动触控操作 配备18英寸可拉伸电容式触控屏，实时显示压力（最高可达 2000 psi）、温度及干燥进程 支持出厂默认设置或创建并保存自定义配方，操作直观，减少人为误差 大尺寸样品支持 支持 8.5 英寸、12.5 英寸腔体尺寸，最大可处理直径 12 英寸样品，一次性处理多达 5 片晶圆，满足大型样品需求。 高效 CO₂ 管理 可调节腔体插入设计减小腔体内径，降低 LCO2 消耗 内部双重过滤组件（0.006 微米，截留率 99.9%）确保 CO₂ 纯净，配备初始流体纯化系统 创新流体控制 采用非机械搅拌技术，摒弃移动部件，减少维护需求 高精度慢速充液功能，专为最脆弱的样品设计 出厂标配流量计（20 SCFH 适用于 1.25 英寸腔体，60 SCFH 适用于 2.5 英寸及 3.4 英寸腔体），实现精确的排气流控制 高效制冷与废气处理 集成内部闭环制冷系统，确保温度稳定 标配冷凝器静音运行，分离 CO₂ 废气与废醇，保护环境 安全与稳定 外部安装的后净化过滤组件便于维护 所有内部表面对 CO₂、丙酮及超纯醇类惰性，确保长期耐用 用户友好设计 腔体照明与可视窗口便于观察状态 设备标配静电消除导液排气管，确保安全操作 自动化上下料系统 投料、密封舱开启关闭、密封锁闭均由自动系统完成 适应产线需求，确保干燥工艺的高效与安全性 |